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半導(dǎo)體

晶圓檢測(cè)機(jī)

未標(biāo)題-2.jpg


設(shè)備參數(shù):

· 產(chǎn)能:≥ 8ppm ;

· 準(zhǔn)確率:≥ 95% ;

· 稼動(dòng)率:≥ 95% (僅由設(shè)備自身原因造成);

· 漏檢率:0 ;

· 誤檢率:≤ 5% ;


安裝環(huán)境要求:

· 電源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;

· 壓縮氣源:0.4~0.7MPa  ≤1000L/H;

· 環(huán)境溫度:室溫+10°~+45°;

· 相對(duì)濕度:≯50%,無(wú)結(jié)露、無(wú)腐蝕性、可燃性氣體。