晶圓檢測(cè)機(jī)
設(shè)備參數(shù):
· 產(chǎn)能:≥ 8ppm ;
· 準(zhǔn)確率:≥ 95% ;
· 稼動(dòng)率:≥ 95% (僅由設(shè)備自身原因造成);
· 漏檢率:0 ;
· 誤檢率:≤ 5% ;
安裝環(huán)境要求:
· 電源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;
· 壓縮氣源:0.4~0.7MPa ≤1000L/H;
· 環(huán)境溫度:室溫+10°~+45°;
· 相對(duì)濕度:≯50%,無(wú)結(jié)露、無(wú)腐蝕性、可燃性氣體。