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PL

檢測(cè)原理

· 光致發(fā)光( Photoluminescence,簡(jiǎn)稱PL) ,太陽(yáng)電池的缺陷往往限制其光電轉(zhuǎn)換效率和使用壽命

· 光致發(fā)光可快速通過(guò)少子壽命變化進(jìn)行硅片檢測(cè),其原理是利用光致發(fā)光原理獲取晶體硅的熒光照片,且有高分辨率,用以探測(cè)硅片的粗糙面及內(nèi)部破損情況

· 相對(duì)比EL測(cè)試需要接觸樣品才能進(jìn)行,PL測(cè)試不接觸樣品,因此可對(duì)生產(chǎn)電池片中各生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控



項(xiàng)目規(guī)格
設(shè)備尺寸

長(zhǎng)450mm寬450mm高770mm

適用最大尺寸175*175mm
適用Wafer類型

單晶、多晶

最高產(chǎn)能

>3600PCS/小時(shí)

像素精度

<0.34mm(0.5K 線掃相機(jī))

檢測(cè)缺陷精度<0.34mm

UPTime

>98%



項(xiàng)目規(guī)格

黑心、黑邊、黑

單晶、多晶

隱裂單晶、多晶
劃痕

單晶、多晶

污染

單晶、多晶

斷柵

單晶、多晶

燒結(jié)不均

單晶、多晶
位錯(cuò)

多晶

破損單晶、多晶

成像效果

未標(biāo)題-1.jpg